半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)性支柱產(chǎn)業(yè),因此在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,集成電路集成度高,元器件對生產(chǎn)車間的無塵、濕度、靜電等指標(biāo)要求特別嚴(yán)。特別是由于微粒灰塵污染、靜電放電損壞以及與此相關(guān)聯(lián)的設(shè)備停機(jī),是靜電帶來的三大問題。在所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,由于靜電的負(fù)面效應(yīng),使得保持高水準(zhǔn)的產(chǎn)品質(zhì)量和成品率變得更加困難。缺少靜電控制,將導(dǎo)致微粒污染,靜電放電損壞和設(shè)備故障。要防止靜電的產(chǎn)生,關(guān)鍵的就是要通過安裝工業(yè)加濕器控制濕度和灰塵產(chǎn)生。
一般電子車間空氣濕度在40-60%RH之間,不會產(chǎn)生靜電和灰塵,產(chǎn)品質(zhì)量也會有保證。國內(nèi)外半導(dǎo)體企業(yè)在控制靜電上,比較行之有效的一個措施就是使用工業(yè)加濕器加濕除塵,防靜電,而比較普遍的加濕器類型就是干霧加濕器。杭州嘉友霧王推出的干霧加濕器已經(jīng)應(yīng)用到了國內(nèi)不少半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)。
霧王干霧加濕器作為專業(yè)的電子車間加濕器,蒸發(fā)快、濕度控制效果好的特點,不管是除塵還是除靜電、防靜電,速度快、效果好。并且可以實現(xiàn)濕度自動感應(yīng)控制,加濕范圍廣,水電利用率高,整體運(yùn)行費用低。
目前,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展靠兩大輪子推動,一是不斷縮小芯片特征尺寸,二是不斷擴(kuò)大晶圓尺寸。不管哪個輪子推動,防止靜電都將是影響半導(dǎo)體制造技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵。相信在工業(yè)加濕器等新產(chǎn)品、新技術(shù)的不斷更新下,會更好解決半導(dǎo)體靜電問題,進(jìn)步一提高電子產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。
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